An ESPI optical arrangement consisting of a combination of three illumination and one reference beams is compared to a system with three optical arms corresponding to an out-of-plane and two in-plane interferometers. Experimental data for each component of the displacement vector obtained with both systems are presented and discussed.

Analysis of Optical configurations for ESPI

GENOVESE, KATIA
2008

Abstract

An ESPI optical arrangement consisting of a combination of three illumination and one reference beams is compared to a system with three optical arms corresponding to an out-of-plane and two in-plane interferometers. Experimental data for each component of the displacement vector obtained with both systems are presented and discussed.
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